구 성
· Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit
특 징
· 기판 Size : 200mm * 200mm ~
· Auto Align Unit
· Mechanical Align
· Alpha-plus의 양신 기술로 제작된 Source 사용
적용 분야
· OLED, Micro Display 등의 Device 제작