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ALPSITEC
제조사
ALPSITEC[바로가기]
브랜드
-
SKU
138996
제품명
CMP Machines Pcox 202-203-204
모델명
Pcox 202, Pcox 203, Pcox 204
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보
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Advantages -Price -2 to 4 polishing modules -Easy to use and robust. The Pcox20X range presents a series of modular machines which offers configurations including 2, 3 or 4 polishing modules and is production oriented. The product characterisics are similar to the Pcox 200S. |
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Specifications
| Rack | |
|---|---|
| Wafer diameter | <= 200 mm |
| Rotation speed | 15 – 150 rpm |
| Back pressure | 0 – 100 kPa |
| Pressing force | 0 – 3000 N |
| Scan amplitude | 0 – maximum |
| Scan speed | 0 – 0.35 m/s |
| Tray | |
| Diameter | 550 mm |
| Rotation speed | 15 – 150 rpm |
| Temperature | 10 – 60°C |
| Abrasive | 0 – 250 ml/min |
| Conditioner | |
| Tool type | brush, disc, diamond ring |
| Tool diameter | 100 – 225 mm |
| Force | 20 – 300 N |
| Rotation speed | 10 – 70 rpm |
| Scan speed | 0 – 0.9 m/s |
| End point | |
| Module prepared for interfacing with a system for detecting the end of attack | DFA2 system from Alpsitec or other system. |
| Power | |
| Head motor | 0.75 kW |
| Platen motor | 2.20 kW |
| Conditioning motor | 0.37 kW |
| Facilities | |
| Voltage | 220V Tri or 400V tri |
| Compressed air | 6 bars |
| Nitrogen | 2 bars |
| DI water | 1 bar |
| Consumption | |
| Electricity | 1 – 2 KWH |
| DI water | 100 L/hour |
| Vaccum | internal vacuum pump |
| Dimensions | |
| Width | 950 mm |
| Depth | 1190 mm |
| Height | 2480 mm |
| Weight | 1000 kg |
| Wafer dimension | 4’’ to 200 mm |
| Retrofit kit | 4″, 5″, 6″ |
| Option | module autoloading cassette 1 |
CMP 장비 제조업체
CMP 기계의 설계자 및 제조업체
Alpsitec, CMP Steag Electronic Systems(독일 산업 그룹)는 기계 CMP의 선도적인 제조업체로 자리매김하고 있습니다. 그의 전임자가 설치한 기계 단지는 주로 기관 또는 산업의 실험실 및 연구 센터로 구성됩니다.
Evolutionary lines
Alpsitec은 Steag 머신의 초기 범위를 새로운 Pcox 머신으로 완성함으로써 경쟁사가 제공하는 새로운 방법을 고객에게 제공합니다.
Alpsitec의 다양한 기계의 지능형 설계는 신흥 기업과 대규모 연구소의 분사에 기회를 제공하며, 이와 함께 진화하는 기계를 자체적으로 갖추고 있습니다.
고성능
소형 E460부터 생산 기계 연마 PCox 4 모듈에 이르기까지 Alpsitec의 다양한 기계는 동일한 기본적인 기계 개념을 기반으로 제작되어 동일한 품질을 제공합니다:
– 힘– 구현의 단순성 및 속도– 높은 가용성
이 기본적인 기계식 접합에는 Alpsitec의 범위 내에서 한 기계에서 다른 기계로 이동하는 과정이 매우 용이하다는 이점이 있습니다.