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에이티아이
제품 상세 정보
Reticle Macro Inspection
▪ Particle inspection on all area of reticle :
- Pellicle, Pellicle Frame, Pattern, Backside
▪ Multi scanning with vertical and oblique optical system
▪ Inspection of various reticles with 1 recipe
- No prior work for each mask needed
▪ Applicable to full automation
▪ 0.5um pinhole/particle detection in non-pattern area
▪ Optional function to distinguish particle position at top/bottom of pellicle
▪ Verifying review module included
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OEM Product Development (Cell Isolator)
반도체, LED, PCB, 레이저 마킹 시스템 등
Advanced Technology Inc.에 대한 관심에 대해 매우 감사드립니다.
ATI는 1996년에 설립되었으며, 저희는 고성장 산업인 Metrology 및 Inspection 분야에서 세계적인 선두주자 중 하나가 되기 위해 헌신할 것입니다. 이 분야는 하이테크 비즈니스의 모든 영역에서 점점 더 중요성을 갖고 있습니다.
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