product Image

TOP

EFEM
모델명
-
시리즈
반도체장비
자료
-
구매정보
provider logo
블루코드반도체 장비 전문업체, 중앙감시 시스템, 반도체공정 장비, 멀티미디어 기기 제작 및 판매
연락처
042-601-4500
이메일
bluecord@bluecord.co.kr
상품정보에 문제가 있나요?
정보수정 / 삭제요청
코머신은 제품 판매의 당사자가 아닙니다.
제조사
블루코드[바로가기]
브랜드
-
SKU
130597
제품명
EFEM
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

300mm EFEM은 Track장비, Wet Etcher등 반도체 전공정 장비의 Wafer Loading & Unloading을 수행하는 장비입니다.

 

Specification

- 2~4 Load Port in Frong(Customized Product)

- Semi Standard Compliance

- Linear Track for Wafer Transfer Robot Traveling

- Easy Operating & Maintenance

- PIO Sensor & RFID Read/Write

- Enclose Structure

- Fastest cycle time(Hight throughput)

- Wafer Cooling

- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM

블루코드반도체 장비 전문업체, 중앙감시 시스템, 반도체공정 장비, 멀티미디어 기기 제작 및 판매
반도체 장비부문의 국산화와 신기술의 사업화, 연구생산성 향상을 목표로 블루코드는 국내 최초 연구소 중심의 기술집약형 중소기업으로 설립되었습니다. 반도체 장비분야에서 크린룸 감시 제어시스템, Wafer Sorter, Wafer Aligner등의 첨단 장비를 개발하여 국내 반도체 장비 업계에서 확고한 위치를 차지하고 있습니다. 앞으로도 저희 블루코드는 세계적인 첨단 기업으로 거듭나기 위해 창조적 흑자경영 실현 및 미래지향적 경영개선 그리고 공동체 기업문화 구축이라는 경영방침아래 임직원 모두가 하나가 되어 더욱 정진할 것을 약속드립니다.
문의하기