LCD공정 전반에 걸쳐 Panel을 Cassette에서 LCD Panel을 공정 장비로 Loading하거나, Cassette로 Unloading 하기 위한 설비입니다.
Specification
- Single Arm Robot Double Arm Robot 적용
- Cassette를 AGV 또는 MGV로 적치 가능한 2식 또는 4식의 Cassette Stage
- 기판 Search 기능(Glass Mapping Device or Elevator)
- 비접촉식 Alignment 기능(Mechaless alignment)
- Bar Code or RFID Reader
- AGV Communication
- Ionizing System
- FFU(Fan Filter Unit)