반도체 장비 전문업체, 우주항공장비, 부품, 측정기현황, UV 경화기, 램프 제조
System은 반도체, LCD등의 제조공정에서 FAB의 천장에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 이동하며 Cassette, Tray, Magazin, FOUP 등의 다양한 자재를 제조 공정간 반송하는 무인 자동 반송 시스템이다.
Equipment type
구분 | SPECIFICATION | |
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Payload | 10kg | |
Velocity | 직선구간 | 4.2 m/s |
곡선구간 | 0.7 m/s | |
가속 / 감속도 | 2 ~ 3 m/s | |
적재 시간 (E84포함) | EQ : 10sec, STB : 11sec | |
적재 작업 정도 | &±1mm | |
Hoisting 길이 | Max. 3.3m (FOUP용 기준) | |
Sliding Distance | Max. 450mm (Rail Center 기준) | |
분기 / 합류방식 | VHL Self Switching | |
조향 Unit 동작시간 | 0.5sec | |
곡선 반경 | 450mm / 500mm | |
Size | Vehicle | 465mm(W) x 788mm(D) x 923mm(H) |
Rail | 392mm(W) x 250mm(H) | |
Vehicle 무게 | 105kg (±5kg) | |
Rail 무게 | 직선 Rail | 4.9kg/m |
분기 Rail | 75kg/Unit | |
Non-contactPower equipment (HID) | 비 접촉 전원 장치 (30KVA) |