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제조사
(주)일진엔지니어링
브랜드
-
SKU
77792
제품명
Gas System
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

1) GAS의 일반적인 용도
Purge용, 분위기용 등으로 대량 사용하고 있지만 N₂중의 불순물인 O₂는 산화막 생성으로 품질저하를 초래하므로 O₂, 수분 등을 각각 1ppm 이하로 제거할 필요가 있다. 

2) SYSTEM의 구성   
① ON SITE PLANT 또는 LN₂ (LIQUID NITROGEN)가스 저장설비를 갖추고 상설 가스 공급회사로부터 LN₂를 공급받아 사용하고, GAS 및 배관중의 부유물 등을 제거하기 위해 FILTER류를 설치하며, 제조회사 GAS 제조과정, 용기의 보관, 운송 교환 등에서 오염될 가능성 대비 및 초고순도 GAS가 요구될 때에는 정제기를 설치한다.
② LN₂가스 저장 설비는 YARD에 설치하며, 1차. 2차 FILTER는 기계실에 설치한다.
③ LN₂가스 저장 설비에서 기화된 GN₂의 공급압력은 7 ㎏/㎠으로 공급하며, 압력조절은 LN₂가스 저장 설비내에서 조정이 가능하다.

(주)일진엔지니어링
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저희 (주)일진엔지니어링은 1986년에 설립되어 크린룸 시스템, 반도체 & LCD 장비 분야에서의 성공을 위해 신기술 개발과 축척된 다양한 노하우로 무한 경쟁시대 속에서도 그 입지를 굳건히 다져온 회사입니다. (주)일진엔지니어링은 급변하는 첨단 산업 환경 속에서 끊임없는 기술 개발과 Dailchi(일본의 반도체, LCD 장비 취급회사)와 기술 협력을 통해 두 번쨰 도약을 향해 나아가고 있습니다. 설립된 이래 줄곳 보다 확실하고 믿을 만한 시스템을 통한 엄격한 심사를 거친 품질로 고객 여러분들께 늘 더 깊은 마음과 신뢰를 주기 위해 노력해 왔습니다. 저희 회사의 모든 분야(R&D, 설계, 제조, A/S, 상품)에서는 고객의 입장을 생각하며 고객 여러분들의 현재와 미래를 위해 구성되어졌습니다. 저희 (주)일진엔지니어링은 고객 여러분들의 만족을 위해 앞으로도 큰 노력을 아끼지 않을 것이며, 기술분야에서도 국제적 수준을 뛰어 넘는 기술 혁신을 위해 늘 노력 할 것입니다. 앞으로도 고객 여러분들이 저희 (주)일진엔지니어링을 지켜봐 주시는 동안 저희는 지금에 안주하며 만족하는 기업이 아닌 고객 여러분들과 함께 발전하며 첨단 산업의 변화에 앞장 설 수 있는 영원한 동반자가 되어 드리겠습니다.
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