박막이 압축응력 또는 인장응력을 가지고 있는 경우, 기판/박막 복합체의 변형된 곡률을 측정하여 박막의 잔류응력을 계산합니다.
RESIDUAL STRESS TESTER의 특징
• X-Y축 자동 제어
• 박막의 곡률과 Stoney 공식을 이용하여 잔류 응력 산출
• (비정질 상태의 박막 응력 측정 가능)
• 간단한 원클릭 조작법
주의사항
• 측정 시험편 : 기판은 250 ± 15㎛ 두께의 Si-wafer를 사용하며, 기판의 길이는 폭의 10배 정도로 합니다.
• 박막의 두께는 기판 두께에 비해 1/50 이하가 되도록 합니다.
RESIDUAL STRESS TESTER 사양
| 곡률반경 측정 범위 |
2m ~ 100m |
| 잔류응력 측정 범위 |
60Mpa ~ 10Gpa |
| 잔류응력 측정 분해능 |
10Mpa |
| 잔류응력 측정 반복오차 |
＜ 10% |
| 최대 측정 스캔 길이 |
30mm |
| 최소 측정 스캔 스텝 |
0.2mm |
| 측정 웨이퍼 두께 |
100um ~ 800um |
| 측정 코팅막 두께 |
0.05um ~ 10um |
| 스캔 스데이지 스트로크 |
30mm |
| 스캔 스데이지 분해능 |
25um |
| 로딩 스데이지 스트로크 |
140mm |
| 로딩 스데이지 분해능 |
0.5mm |
| 측정 속도 |
0.02mm/s |
| 측정 시편 크기 |
40mm[길이] x 4mm[폭] |
| PSD 센서 사양 |
5um |
| 크기 |
500[W] x 500[D] x 500[H] mm |
| 무게 |
30kg |
| 소비전력 |
150W |
| 레이저 사양 |
Peek wave Length : 655nm / Output power : ＜ 1mW |
| Focused beam dia : Less than 0.1mm[at 300mm] / Laser class 2[1EC60825-1:2007] |
| PSD센서 사양 |
감지영역 1mm[폭] x 12mm[길이] / 위치 감지 오차 ±60um |
| 감지파장 320nm to 100nm / 위치 분해능 0.3um at 900nm Spot dia 200um |
