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Residual Stress Tester
모델명
-
시리즈
박막분석장치
자료
Residual Stress Tester
구매정보
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제이앤엘테크

DLC 코팅 제품 제조업체, DFC 코팅, 하드코팅, 박막 분석장비, 스크레치 테스터 등

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031-499-1005
이메일
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제조사
제이앤엘테크[바로가기]
브랜드
-
SKU
55508
제품명
Residual Stress Tester
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

박막이 압축응력 또는 인장응력을 가지고 있는 경우, 기판/박막 복합체의 변형된 곡률을 측정하여 박막의 잔류응력을 계산합니다.

 

RESIDUAL STRESS TESTER의 특징

• X-Y축 자동 제어
• 박막의 곡률과 Stoney 공식을 이용하여 잔류 응력 산출
• (비정질 상태의 박막 응력 측정 가능)
• 간단한 원클릭 조작법

 

주의사항

• 측정 시험편 : 기판은 250 ± 15㎛ 두께의 Si-wafer를 사용하며, 기판의 길이는 폭의 10배 정도로 합니다.
• 박막의 두께는 기판 두께에 비해 1/50 이하가 되도록 합니다.

 

RESIDUAL STRESS TESTER 사양

곡률반경 측정 범위 2m ~ 100m
잔류응력 측정 범위 60Mpa ~ 10Gpa
잔류응력 측정 분해능 10Mpa
잔류응력 측정 반복오차 < 10%
최대 측정 스캔 길이 30mm
최소 측정 스캔 스텝 0.2mm
측정 웨이퍼 두께 100um ~ 800um
측정 코팅막 두께 0.05um ~ 10um
스캔 스데이지 스트로크 30mm
스캔 스데이지 분해능 25um
로딩 스데이지 스트로크 140mm
로딩 스데이지 분해능 0.5mm
측정 속도 0.02mm/s
측정 시편 크기 40mm[길이] x 4mm[폭]
PSD 센서 사양 5um
크기 500[W] x 500[D] x 500[H] mm
무게 30kg
소비전력 150W
레이저 사양 Peek wave Length : 655nm / Output power : < 1mW
Focused beam dia : Less than 0.1mm[at 300mm] / Laser class 2[1EC60825-1:2007]
PSD센서 사양 감지영역 1mm[폭] x 12mm[길이] / 위치 감지 오차 ±60um
감지파장 320nm to 100nm / 위치 분해능 0.3um at 900nm Spot dia 200um

제이앤엘테크
DLC 코팅 제품 제조업체, DFC 코팅, 하드코팅, 박막 분석장비, 스크레치 테스터 등
제이앤엘테크는 국내/외 고체 윤활 코팅 시장을 선도 해왔으며, 플라즈마 코팅 서비스에서 축적된 기술과 장비 제조 기술을 바탕으로 코팅 시스템은 물론 박막 분석장비 분야에서도 세계 최고의 기술력을 인정 받고 있는 플라즈마 코팅 전문기업입니다. 제이앤엘테크는 PECVD, Ion Plating, FCVA 등의 주요 코팅장비 제조 기술과 자체 개발한 박막분석 기술 및 3차원 코팅기술을 바탕으로 DLC, CrN, TiN, TiAlN 등의 고경도 코팅은 물론, 복합구조 기능성 코팅에 이르기까지 다양한 코팅 장비와 서비스를 안정적으로 제공 할 수 있는 체계를 갖추고 있습니다.  저희는 설립 초기부터 '부설 Plasma 연구소'를 중심으로 KIST, KIMM, KITECH 등 국내 유수 연구기관과의 공동 연구 개발 협력 체계를 구축하여 다양한 분야의 표면처리 코팅 기술을 연구 개발하여 왔습니다. 이를 바탕으로 플라즈마 코팅 시스템과 프로세스를 구축해 드리는 동시에 관련 엔지니어링을 위한 Total Solution을 제공하고 있습니다. 저희가 자체 개발한 플라즈마 코팅 장비군과 박막 R&D를 위한 물성 측정 장비는 대학, 연구소, 기업 등에서 신뢰성을 인정 받아 널리 사용되고 있으며 일본, 중국, 대만, 말레이시아, 인도 등지에 수출되고 있습니다.
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