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(주)마이크로인피니티

반도체 센서 설계 및 항법센서 제작, 항공우주, 텔리매틱스, 모션센싱, 지능로봇 개발

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(주)마이크로인피니티[바로가기]
브랜드
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SKU
43862
제품명
MEMS Foundry
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제품 상세 정보

MEMS Foundry 

고정밀 MEMS 자이로,가속도계, 압력계 개발 및 제작을 위하여 Si dry etch 공정을 위한 DRIE 장비를 보유하고 있으며 제품 품질의 일관성을 위해 포토 공정에서 패키징 공정까지 일괄 처리할 수 있는 자체 MEMS fab을 구축하였다. MEMS 공정기술 중 건식 식각 (dry etching)공정에 대하여 특화된 전문기술을 갖고 있으며 고종횡비 실리콘 식각 공정에 사용되는 산화막 마스크 (oxide mask) TEOS (SiO2)증착 및 건식 식각 공정에 뛰어난 기술을 보유하고 있다. 
2008년부터는 한국나노기술원 fab시설에 입주하여 6inch 기준 Wafer 공정 MEMS 파운드리 서비스를 제공하고 있으며, 보유한 주요 장비는 양산장비 12종, 측정장비 6종, 기타 8종이다. 
TEOS: Tetra Ethyl Ortho Silicate

 

Processes

Wafer process Dry etching DRIE, SiO2,AL, Ashing
Deposition TEOS SiO2,Thermal evaporation
Thermal oxidation, PECVD SiO2
Photolithography x1 Aligner
Bonding Anodic
Packaging Interconnection Wire ball bonding
Vacuum packaging Wafer level anodic bonding
Inspection Geometry Microscope
Profile SEM, Laser profiler, Alpha-step, Nanospec

 

Facilities

Equipment Manufacturer Specifications
DRIE ADIXEN Aspect ratio: over 30
P-5000 Applied materials TEOS SiO2 deposition, SiO2 etching
Evaporator Korea vacuum tech Au, Al, Ti Cr
Bonder SUSS microtec Vacuum, Anodic, Eutectic, Adhesive
Aligner SUSS microtec 6"
Asher TEPLA Microwave type, Batch and specimen
Flip-chip bonder TRESKY 2mm x 2.5mm ~ 10mm x 12mm
Wire bonder Kulicke & soffa Manual ball bonder
Dicing saw Disco Si, Glass, Quartz, Sapphire, SiC etc
Alpha-step KLA-tencor Stylus type
Nanospec Nanometrics Range: 25~750,000Å
SEM TESCAN Resolution: 3.5nm x 4 ~ x 100000
Laser profiler Keyence Non-contact type
Microscope Nikon x5, x10, x20, x50
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2001년 설립 이후 혁신적 기술개발로 가전, 산업, 자동차, 군수 등 다양한 분야에 항법기술을 적용하였으며 고객이 쉽게 사용 할 수 있도록 저렴한 가격, 우수한 성능, 높은 신뢰도의 제품을 공급하고 있습니다. 또한 ㈜마이크로인피니티는 자주국방을 위하여 군수분야의 고 정밀 MEMS센서 및 항법시스템을 국산화 하고 있습니다. 마이크로인피니티의 목표는 창의적인 항법기술로 보다 편리하고 행복한 세상을 만드는 것입니다. 이를 위해 센서부터 시스템까지 최고의 제품을 제공하는 여러분의 진정한 항법 솔루션 파트너가 되겠습니다.
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