System Specification
Measurement |
1. Thickness & Flatness 2. Bow & 15 points Warp |
Wafer Inner Inspection |
1. Micro Crack Detection 2. Inner Bubble & Defects Detection |
Wafer Surface Inspection |
1. Surface Crack Detection |
※User 요구 사항에 따라 System Customize 가능합니다.
Solar Cell 검사 시스템
Solar Wafer 생산라인은 표준화와 자동화가 이루어지지 않아 대량 생산이 어렵고 공정 최적화를 구축하기 어렵다는 문제점이 있습니다.
본 장비는 Vision 검사 기술이 도입된 자동화 시스템이며
ㆍ 레이저 기술을 이용한 두께 편차 측정 기법 (ASTM 표준)
ㆍ Micro Crack 및 내부 결함 검출
ㆍ Inline과 부분 자동 검사 모두 적용
ㆍ 기하학 & 광학적인 Solar Cell Wafer 불량 검출
ㆍ 3D Wafer Drawing
등의 기술 개발을 통한 검사 자동화를 실현하였습니다. 이를 통하여 안정된 품질과 생산 효율을 높일 수 있을 것으로 기대합니다.