Vacuum component, Vacuum system, E-cell, Sputter, E-beam, MBE and more
- 구 성 Pre-Treatment, Organic, Metal, Encapsulation Unit
- 특 징 기판 Size : 100mm * 100mm ~ 150mm * 150mm
Mechancal Align Unit
Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용
- 적용분야 OLED Device 제작, 물질 개발