Vacuum component, Vacuum system, E-cell, Sputter, E-beam, MBE and more
- 구 성 Loadlock, Pre-Treatment, Organic & Metal, Mask Stock등
- 특 징 기판 Size : 370mm * 470mm ~
Mechanical Align Unit
Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용
- 적용 분야 OLED, Display 제작