Clean room manufacturer, Clean room system, Air conditioning and chilling system and more
1) PCW의 일반적인 용도
생산장비에서 발생하는 장비의 열을 회수하는 SYSTEM으로, 냉각수는 CIRCULATION 된다.
2) SYSTEM의 구성
공정용 냉각수 계통은 생산설비에 공급되는 20℃ 고순도의 냉각수를 Circulation하는 System으로 잠시도 공급중단 되어서는 안되는 중요한 Utility이다.
생산설비마다 요구되는 수압이 각각 상이하여 고압(H.P)과 저압(L.P)으로 대별하여 운용하고 있다.
고압 및 저압 냉각수 공정은 동일하게 되어 있으며 각 생산장비에 공급한 냉각수는 장비의 열을 회수하여 25℃로 배출되며 Circulation Pump에 의해 고압계통, 저압계통 공급되며, Particle을 완전제거 하기 위하여 5 Micron Filter를 통과한 후 각 생산장비에 보내어 진다.