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임나노텍
 

MCA E Chuck Heater manufacturer, Aln Heater, Magnet Assembly, Standard Heaterr and more

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기업 기본 정보

0503-5304-1155
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경기도 용인시 처인구 남사읍 통삼로171번길 1
기업 소개

MCA ESC(Magnetron Cathode Assembly Electrostatic Chuck)는 반도체 제조 공정에서 사용되는 AMAT PVD 장비의 소모품 중 하나로, PVD 장비의 챔버 내에서의 고온, 고압 조건 및 불순물로 인한 품질 문제로 인해 정기적으로 교체되어야 합니다.

 

MCA ESC의 주요 기술은 반도체 실리콘 웨이퍼와 직접 접촉하면서 웨이퍼의 모든 영역에서 최소 온도 편차를 유지하는 것입니다. 2011년부터 IMNANOTECH는 MCA ESC 리퍼빌딩 비즈니스를 수행하면서 고급 기술을 축적해왔습니다.

 

우리는 200mm 및 300mm MCA ESC, 세라믹 히터 및 자석 어셈블리의 모든 유형에 대한 최고 수준의 리퍼빌딩 서비스를 제공합니다. 최신 수리 시설과 10년 이상의 경력을 가진 기술자들로 구성된 팀으로 작업합니다. 리퍼빌딩 서비스 외에도 새 제품과 유사한 수준으로 복원된 300mm MCA ESC 제품을 판매하고 있습니다. 현재 미국, 일본, 중국, 대만 및 싱가포르를 포함한 전 세계 고객에게 최상의 리퍼빌딩 제품 판매 및 수리 서비스를 성공적으로 제공하고 있으며, 고객들은 가장 어려운 수준의 수리 서비스를 요청하며 저희의 오버홀 서비스에 매우 만족하고 있습니다. 고객을 만족시키기 위해 기술 개발에 최선을 다할 것이며, 저희의 폭넓은 경험과 고급 기술로 최고 품질을 보장하는 MCA ESC 수리 서비스 및 리퍼빌딩 제품에 대한 문의를 언제든지 주세요.

기업 위치

경기도 용인시 처인구 남사읍 통삼로171번길 1