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Hybrid Arc System (R&D 및 Scriber, 소형 툴 용)
모델명
i40A
시리즈
Hybrid Arc System
자료
-
구매정보
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아이시스(주)

PVD 장치 전문 제조업체, 박막코팅장치, 이온주입장치, 중대형 대면적 In Line Coating 양산 장비 등

연락처
031-447-6627
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제조사
아이시스(주)[바로가기]
브랜드
-
SKU
135854
제품명
Hybrid Arc System (R&D 및 Scriber, 소형 툴 용)
모델명
i40A, i40S
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

i40A

Production    
Shank tool ø10x70mm 60pcs
Inserts ø20x6mm 300pcs

특징

  • 가공이 없는 원형 디스크 타겟 사용(127mm diameter)
  • 고정 로테이션 테이블
  • 유니포미티 : 3축 x 135mm H
  • 펄스바이어스 및 터보 펌프 적용
  • 자동화 시스템 및 실시간 그래프 확인
  • 시스템 사이즈 : 2M(L) x 1.5M(W) x 1.8M(H)

조합

  • i40A : DLC 시스템
    일반 아크 DLC 코팅
    우수한 밀착력
    우수한 표면조도 (Ra, Rz)
  • i40S : UBM 스퍼터 시스템
    타겟사이즈 :203.2mm x 127mm x 12mmt

적용분야

아이시스(주)
PVD 장치 전문 제조업체, 박막코팅장치, 이온주입장치, 중대형 대면적 In Line Coating 양산 장비 등
아이시스㈜는 Ion Plasma Technology를 이용하여 다양한 PVD(Physical-Vapor Deposition) 장치들을 전문적으로 제조하는 기술혁신형기업으로 중·대형 대면적 In Line Coating 양산 장비 및 Hybrid Arc Ion Plating, New HCD 양산장비를 개발하여 중국, 일본 우수업체에 수출하여 기술과 품질을 인정 받았으며 최근에는 다양한 박막물성이 요구되는 박막의 개발뿐 아니라 DLC 양산장비도 개발·공급 하고 있으며, 또한 차세대 아이템으로 Ion Beam을 이용한 산업용 이온빔 조사장치 특허기술을 한국원자력연구원으로부터 이전 받아 대면적 고분자 산업용 이온빔장비 개발 및 다양한 응용 분야에 적용할 수 있는 양산 자동화장비 제조 능력을 보유하고 있습니다.
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