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Hybrid Arc System (R&D 및 Scriber, 소형 툴 용)
모델명
i40A
시리즈
Hybrid Arc System
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자료
-
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아이시스(주)PVD 장치 전문 제조업체, 박막코팅장치, 이온주입장치, 중대형 대면적 In Line Coating 양산 장비 등
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제조사
아이시스(주)[바로가기]
브랜드
-
SKU
135854
제품명
Hybrid Arc System (R&D 및 Scriber, 소형 툴 용)
모델명
i40A, i40S
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

i40A

Production    
Shank tool ø10x70mm 60pcs
Inserts ø20x6mm 300pcs

특징

  • 가공이 없는 원형 디스크 타겟 사용(127mm diameter)
  • 고정 로테이션 테이블
  • 유니포미티 : 3축 x 135mm H
  • 펄스바이어스 및 터보 펌프 적용
  • 자동화 시스템 및 실시간 그래프 확인
  • 시스템 사이즈 : 2M(L) x 1.5M(W) x 1.8M(H)

조합

  • i40A : DLC 시스템
    일반 아크 DLC 코팅
    우수한 밀착력
    우수한 표면조도 (Ra, Rz)
  • i40S : UBM 스퍼터 시스템
    타겟사이즈 :203.2mm x 127mm x 12mmt

적용분야

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