특징 및 적용
- Boron Free
- 0.1㎛ 기준 99.9995% 이상의 포집 효율
- 초박형 저압손/고효율형임
- 경량이고 설치 및 취급이 용이함
- 반도체 및 관련 부문 제조 공정에 적용
재질 및 사용 조건
구분 | 재질 |
MEDIA | GLASS-FIBER |
FRAME | ALUMINUM |
SEALANT | POLY-URETHANE |
GASKET | NEOPRENE RUBBER, EPDM |
최고 사용온도 | 60℃ |
최고 사용습도 | 100 % RH |
표준 사양
규격 (MM) H X W X D | 풍량 (CMM) | 압력손실(MMAQ) | |
초기 | 말기 | ||
572*572*50 | 7 | 9.5 | 19 |
572*1167*50 | 14 | 9.5 | 19 |
1167*1167*50 | 28 | 9.5 | 19 |