Features
· 광범위한 산업현장에서 입증된 신뢰성
· 최적화된 스크류 로터 및 짧은 가스 배출 경로
· 수랭식 모터
수랭식 모터를 채용, 공랭식 모터의 문제점인 소음과 크기를 줄이고 먼지 비산 문제를 획기적으로 개선
· 이동 및 작업의 편리성
포터블 타입으로 이동이 편리하고 설치와 분리 작업이 쉬움
분리형 콘트롤 판넬 채택으로 조작이 편리하고, 본체의 사방에 자유롭게 부착 가능, 원거리에서도 가동상태를 눈으로 확인 가능
· 차음 판넬
소음 감소 및 시각적인 디자인의 판넬 채택으로 실내에서도 깨끗한 환경하에 사용할 수 있음
평판디스플레이와 반도체 산업에서 검증된 품질과 신뢰성
· 소형이며 경제적인 진공펌프
· 소형 Footprint와 쉬운 조작법
· 향상된 배기량
Advantages to the Users
· 소용량(50m3/hr)에서 대용량(5000m3/hr)에 이르기까지 광범위한 배기성능을 지닌 펌프의 선택 가능
50 ～ 5000 m3/hr
· 공랭식 펌프
SE50, SE80
· Simple한 구조 및 콤팩트한 펌프설계
낮은 단가
최소화된 설치
짧은 가스 배출 경로(높은 배기속도)
· 스크류형 로타 및 일단 구조
더 높은 체적 효율
더 낮은 소음과 진동
· 저렴한 운전 비용
낮은 전력 소모
낮은 냉각수 유량
· 저렴한 유지/보수 경비
다단형 드라이펌프에 비해 심플한 구조(부품수가 약 1/3)
최소한의 구동 부위로 고장률 최소화 및 고장시 수리시간 단축 및 수리 비용 최소화
· 향상된 펌프수명 및 저렴한 유지비용
Application
· OLED
· LiPB
· Ultrasonic Cleaning/Plasma Cleaning
· Heat Treatment Furnace
· Electric, Electronics & all Semiconductor Process
Load-lock & transfer chamber pumping
Backing a turbo pump on all processes
CVD, PVD, Etching, Ion implantation etc.
The clean & harsh chemistries used in all semiconductor applications
Vacuum Packaging Process (PDP)
| Guide of Pump Selection | Neovac seires | |||
| Application | Air Evacuation | ∨ | ||
| Load lock/Transfer/Buffer Chamber evacuation | ∨ | |||
| Sputtering Deposition | ∨ | |||
| Ion implantation | ∨ | |||
| Ashing | ∨ | |||
| Etching Process | Metal | ∨ | ||
| Oxide | ∨ | |||
| Nitride | ∨ | |||
| CVD Process | Nitride | ∨ | ||
| Oxide | ∨ | |||
| Nitride | ∨ | |||
| Epitaxial Process | ∨ | |||
| Items | SS120 | SS200 | SS300 | SS600W | |
| Model | Mech, Booster | - | - | - | SSB600 |
| Dry V/P | SS120 | SS200 | SS300 | S120 | |
| Nominal Displacement 60Hz(50Hz),㎥/Hr | 120(100) | 187(155) | 320(267) | 660(568) | |
| Ultimate Pressure (Torr/Pa) | 0.005 | 0.005/0.67 | 0.005/0.67 | 0.0007/0.093 | |
| Rotation 60Hz(50Hz),rpm | 3500(2900) | 3500(2900) | 3500(2900) | 3500(2900) | |
| Noise, dB | <65 | <65 | <65 | <65 | |
| Motor, KW | 4 | 4 | 7.5 | 8 | |
| Power Consumption, KW | 2.5 | 3 | 5 | 3.2 | |
| N2 Purge, sim | Clean | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Harsh | 0~50 | 0~50 | 0~50 | 0~50 | |
| Cooling Water, l /min | 2 | 2 | 7 | 3 | |
| Oil, l | 0.5 | 0.5 | 1.6 | 1.5 | |
| Port Size (Suction/Discharge) | NW50/NW40 | NW50/NW40 | NW50/NW40 | ISO100/NW40 | |
| Weight(Pump Only), Kg | 140 | 140 | 300 | 360 | |
| SIZE(L × W × H),mm | - | - | - | 890×390×828 | |
| Items | SS1200W | SS1800W | SS3000W | SS5000W | |
| Model | Mech, Booster | SSB1200 | SSB1800 | SSB3000 | SSB5000 |
| Dry V/P | S120 | SS200 | KDPH800 | KDPH800 | |
| Nominal Displacement 60Hz(50Hz),㎥/Hr | 1200(1000) | 1800(1500) | 3000(2500) | 5000(4166) | |
| Ultimate Pressure (Torr/Pa) | 0.0007/0.093 | 0.0007/0.093 | 0.0007/0.093 | 0.0007/0.093 | |
| Rotation 60Hz(50Hz),rpm | 3500(2900) | 3500(2900) | 3500(3500) | 3500(3500) | |
| Noise, dB | <65 | <65 | <65 | <65 | |
| Motor, KW | 8 | 8 | 15 | 52 | |
| Power Consumption, KW | 3.8 | 4.7 | - | - | |
| N2 Purge, sim | Clean | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Harsh | 0~50 | 0~50 | 0~50 | 0~50 | |
| Cooling Water, l /min | 3 | 3.5 | 2.4 | 35 | |
| Oil, l | 1.5 | 2.2 | 2.2 | 10 | |
| Port Size (Suction/Discharge) | ISO100/NW40 | ISO160/NW40 | ISO200/ISO63 | ISO320/ISO80 | |
| Weight(Pump Only), Kg | 390 | 480 | 970 | 2100 | |
| SIZE(L × W × H),mm | 850×390×858 | 940×520×1000 | 1270×590×1120 | 1270×590×1120 | |
