검사장비 전문 제조업체, 비접촉박막두께측정장비, 휴대폰 카메라렌즈관련 장비, AF모듈 등
항목 | 내용 | 비고 | |
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최대 기판 크기 | 1300mm X 1500mm | OLED Glass 기준 | |
자동 측정 기능 | 有 | ||
X, Y축 | 위치 정확도 | 3 + L/250 ㎛ | L : 측정길이mm |
반복도 | ±1.0㎛ | ||
분해능 | 0.1㎛ | ||
Z축 | 반복도 | ±1㎛ | |
분해능 | 0.5㎛ | ||
3D | 측정범위 | 300㎛ | |
반복측정정도 | ±0.5㎛ | ||
2D | 특징 | Auto Focusing기능 | |
선폭 반복측정정도 | ±1㎛ |