(주)넥스타테크놀로지
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3D In-Line 측정장비
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FPD
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제품 상세 설명
| 항목 | 내용 | 비고 | |
|---|---|---|---|
| 최대 기판 크기 | 1300mm X 1500mm | OLED Glass 기준 | |
| 자동 측정 기능 | 有 | ||
| X, Y축 | 위치 정확도 | 3 + L/250 ㎛ | L : 측정길이mm |
| 반복도 | ±1.0㎛ | ||
| 분해능 | 0.1㎛ | ||
| Z축 | 반복도 | ±1㎛ | |
| 분해능 | 0.5㎛ | ||
| 3D | 측정범위 | 300㎛ | |
| 반복측정정도 | ±0.5㎛ | ||
| 2D | 특징 | Auto Focusing기능 | |
| 선폭 반복측정정도 | ±1㎛ | ||