Dual Channel로 구성되며, 각 공정 온도는 +30℃ ~ +90℃ 공정까지 대응 가능한 특화된 Heat Exchanger System
저전력 Energy Saving 적용
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 | |
Channel | CH1 | CH2 |
Temp Range | 30℃ ~ 90℃ | 30℃ ~ 90℃ |
Cooling Type | Heat Exchanger | Heat Exchanger |
Cooling Capa | 6.0kW at 50℃ | 6.0kW at 50℃ |
Reservoir Volume | 12.0 Liters | 12.0 Liters |
Single Channel로 구성되며, 공정 온도는 +30℃ ~ +180℃ 공정까지 대응 가능한 특화된 Heat Exchanger System
저전력 Energy Saving 적용
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 |
Channel | CH1 |
Temp Range | 30℃ ~ 180℃ |
Cooling Type | Heat Exchanger |
Cooling Capa | 10.0kW at 50℃ |
Reservoir Volume | 15.0 Liters |