반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 PLASMA를 이용하여 극고온 JET로 대상 가스를 분해 처리하는 System
PFC GAS의 높은 분해 효율성(99%)
구분 |
사양 |
Dimension(W x D x H) |
720mm x 850mm x 1680mm |
Power |
208 VAC, 3 Phase, 3A |
Capacity |
300 SLM |
Utilities |
LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2 |