개발동기
광세정용으로 주로 물리적 화학적 세정이 종료되고 마지막 세정 작업 시 사용한다. 주로 LCD Glass에 적용하나, Probe, Soket등의 세정에도 사용한다. 광학 필름의 표면에너지를 순간적으로 높여 접착력을 높일 때 사용 한다. 기제의 표면처리, 공기 살균, 물의 살균에 사용한다. 

주요 사용처 : LCD 공정 업체, 광학 필름 제조업체, 표면처리 업체. 공기 살균 

제품특징
① 제품의 표면 에너지 처리, 물의 세정, 공기 세정용으로 사용한다.
② 주파장이 172nm, 254nm, 313nm 대역을 주로 사용하며, 단위 면적당 높은 출력은 낮다. 
③ 제품의 길이는 200mm ~ 2500mm 까지 가능하다. 
④ 광 효과를 높이기 위하여 시스템에서 N2분위를 만들어 준다. 

세정/개질용 UV 램프의 특성
- 반도체, LCD, OLED, 광학, 리드 프레임의 표면에는 여러가지 유기 불순물의 얇은 오염 막이 붙어 있어 제품에 결정적으로 악영향을 줄 수 있기 때문에 반드시 제거해야 한다.
- 유기물 제거, 표면 개질용 UV 램프의 경우 1분간 50~100nm두께의 유기물 분해가 가능하다.
- 막 두께가 수백Å이하의 유기오염 막은, 유기물 제거 램프를 사용하면 효과적으로 제거할 수 있다. 

세정/개질용 UV 램프의 용도
- LCD, PDP, OLED, Wafer 표면 세정과 표면 개질
- 광학 유리, 리드 프레임
- 아크릴, PP, PE 필름
-기능성 프라스틱, 신소재 

분광분포도 (Spectral power distribution of UV/O3 Lamp)