OAI Model 800FSA Mask Aligner는 반자동, 광학 Topside 마스크 얼라이너 입니다. 매우 정밀한 (1μm-2μm) 정렬 정확도를 제공하며 매우 경쟁력 있는 가격으로 다른 후면 Aligner와 비견하여 성능이 크게 능가하도록 설계되었습니다. 다양한 모델 800FSA 마스크 Aligner는 소량 생산, R & D 연구소 및 대학에서 사용하기에 이상적입니다.
Model 800FSA Mask Aligner는 최대 2KW까지의 다양한 OAI 광원으로 구성 할 수 있습니다. 마스크 Aligner 툴링은 최대 8 인치 사각형의 기판을 수용 할 수 있으며 웨이퍼 척은 쉽게 로딩 및 언로딩 할 수 있도록 배치됩니다. 이 비용 효율적인 마스크 Aligner는 자동 오토 레벨링 및 자동 간격 설정 기능을 갖추고 있습니다.
진동 차단 플랫폼을 기반으로 제작 된 고정 마스크 홀더 어셈블리는 정렬 정확도와 반복성을 보장합니다. 읽기 쉬운 PLC 터치 스크린을 사용하여 조작이 간단 해졌습니다. 운영자는 1 시간 이내에 효과적으로 마스크 Aligner를 사용하는 법을 배울 수 있을 정도로 교육 시간이 짧습니다.