일명 관상로 라 불리는 Tube Furnace는 원통 모양으로 내부의 방사균열이 뛰어나고 구조가 단순하여 소규모 가열생산 등이나 실험용에 사용되고 있습니다.
특징
- 사용온도에 따른 발열체 선정
- 관상의 재질을 AL2O3, Quarz, Metal등 선택적으로 사용가능
- 사용조건에 맞춰 수평형 또는 수직형으로 사용
- 환원 또는 진공 및 각종 분위기에서 실험 생산
- 가열구간을 나누어 구간마다 각각의 온도제어 가능
용도
- 피열물의 연구
- 수직수평 온도분포 설정시험
- 반도체 제조용,각종 CVD장치 가열,소결용등 소규모 가열생산