육면 HEATER TYPE (사각TYPE CHAMBER)
Heat zone | 900W x 1100D x 850H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능 |
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Max temp | 1850℃ |
진공도 | 10(-5) torr대 Diffusion Pump + MBP + Rotary Pumping |
사용 Gas | N2, Ar, 진공 |
Utility | Power 400KVA, 냉각수, 공정gas, Air |
Heater | Graphite Rod Type Heater 상/하/좌/우/전/후 6면가열방식 |
단열재 | Graphite 성형단열재 |
Zone 제어방식 | 4 Zone 제어방식 |
Inner Box | Graphite inner box내 Tungsten Plate 부착 |
냉각장치 | 강제 냉각방식 부착 |