호칭형번 | Part number | MR-40 | MR-60 |
스테이지면 크기 | Size of stage face | φ40 | φ60 |
이동거리 | Travel distance | coarse motion 360˚ Micromotion±5˚ | |
이동 가이드 | Travel guide | Facing-up method | |
내하중 | Load capacity | 1.0kgf | 3.0kgf |
평행도 | Drgre of parallelization | 0.02mm | |
무게 | Weight | 0.09kg | 0.28kg |
재질 | Material | Aluminum | |
후처리 | Surface finishing | Black Anodized |
호칭형번 | Part number | MR-85 |
스테이지면 크기 | Size of stage face | φ85 |
이동거리 | Travel distance | coarse motion 360˚ Micromotion±5˚ |
이동 가이드 | Travel guide | Facing-up method |
내하중 | Load capacity | 4.0kgf |
평행도 | Drgre of parallelization | 0.02mm |
무게 | Weight | 0.48kg |
재질 | Material | Aluminum |
후처리 | Surface finishing | Black Anodized |