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[GVC2200] GVC2200 Vacuum Gauge Controller
모델명
GVC2200
자료
-
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129709
제품명
[GVC2200] GVC2200 Vacuum Gauge Controller
모델명
GVC2200
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

GVC2200 Vacuum Gauge Controller

GVC2200 모델은 Hot Cathode Ionization Gauge, Convection Gauge 두개와 Capacitance Manometer를 동시에 연결하여 사용할수 있으며, 측정범위는 고진공(10-9)에서부터 대기압 이상(1000 Torr)까지 이다. 이것은 Convection Gauge와 Hot Cathode Ionization Gauge의 연속적인 측정범위에 해당한다. 또한 이 Controller는 연결하는 Gauge의 개수에 따라 원하는 대로 Control Card의 착 탈이 가능하도록 설계 되었다. Interface 단자를 통해서 외부 다른 기기와 연결할 수 있으며, 6~8개의 독립적인 Trip-Point Relay, 4개의 Analog Output, TTL, IG on/off 기능으로 구성되어 있다. 별도의 내부 Set-point를 이용하여 Convection Gauge의 압력 측정 범위를 벗어나 고진공으로 진입할 때 자동으로 Ion Gauge를 켤수 있도록 하였으며, Degas 기능 또한 시간제어로 사용 할수 있다.


 


Features & Benefits

■ 설치 공간 확보가 용이한 일체형.

■ 4 Channel까지 Gauge를 선택하여 원하는 대로 설치 가능

■ 문자 LCD보다 판독이 용이한 그래픽 LCD 채택.

■ 외부기기 및 공정에 사용토록 6~8개의 Set-Point 제공.

■ Ionization Gauge 보호 기능(1X10-3 Torr 이상에서 자동꺼짐 기능)

■ Degas 시간제어 기능

■ 상태 창을 이용한 SP, IG on/off 등 현재 상태 확인 가능

■ Gauge읭 영점 및 대기압을 버튼으로 보정.




Dimensions





Specifications

Physical

Width

241 mm - Half Rack Mounting ears

Height

88 mm - 2 U Rack

Depth

250 mm (not included connector space)

Electrical

Input Power

195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA (max)

Fuse rating

250 VAC @3 A

Measuring Range

(for N2/Air)

Convection Gauge : 1000T ~ 8.0 x 10-4 Torr

Ionization Gauge : 1.0x10-4~1.0 x 10-9 Torr

Display

128 x 64 dot Graphic LCD 

Ion Gauge Sensitivity

Factory setting : 10/Torr

Emission Current

0.1mA, 1mA, 10mA adjustable

(default setting : 1 mA)

Collector Potential

O Volts

Grid Potential 

+180 VDC

Cathode Potential

+30 VDC

Degas 

I2 R : 10VAC 5 Amp (max)

Eletrical 

Set Point Relay Contact

6 Independently Set, SPDT Conteact

(0.5 Amp @125 VAC)

Set Point Range 

Convection : 1000~1.0 x 10-3 Torr

Ionizatioin Gauge : 1.0 x 1.0-3 ~ 1.0 x 10-9 Torr

Pressure Voltage Output 

0 ~ 10 VDC for 2 CG'S and 1 IG

0 ~ 10 VDC for Capacitance Manometer.

Serial Interface 

RS232C

(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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