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All Teflon(POCL3)
모델명
-
시리즈
Throttle Valve
자료
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구매정보
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129718
제품명
All Teflon(POCL3)
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

ATV1000 All Teflon Throttle Valve

ATV1000 All Teflon Throttle Valve 는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다. 

ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.

특히 포클(POCL) 액인 것을 특징으로 하는 반도체 공정 제조 장비의 배출 장치로 많이 사용 된다. 


 


Features & Benefits

■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver를 사용하여 Valve 의 Resolution을 향상시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다.

■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.

■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Teflon 재질로 되어 있어 오염으로부터 특화 되어있다. 




Specifications

Speed (open to close)

2.0 sec 

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

PTFE, PEEK, Viton

Compatible Controller

Model GPC3000

MKS Type 651, 1651 

Size

i inch Teflon join 

Full Closed Leak (100mmH2O)

 3 l/min



 

(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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