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[AFC770] AFC770 HIGH MASS FLOW CONTROLLER
모델명
AFC770
자료
-
구매정보
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129710
제품명
[AFC770] AFC770 HIGH MASS FLOW CONTROLLER
모델명
AFC770
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

AFC700 HIGH MASS FLOW CONTROLLER (Viton , Kalrez Seal)

MFC는 Mass Flow Controller의 약자로서 Gas Bottle에서 나오는 Gas를 유저가 원하는 일정한 유량의 값으로 흐르게 하기 위한 장치입니다. 단위로는 제조회사마다 약간의 차이를 보이지만 일반적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minutes)을 사용합니다.

 



Features & Benefits

■ AFC770(HIGH Mass Flow Controller)는 일반적으로 산업용을 포함하여 반도체고정에도 사용할수 있도록 설계되어 있습니다.

■ AFC770(HIGH Mass Flow Controller)는 Full Scale Range 는 51 SLM ~ 500 SLM 입니다.

■ AFC770(HIGH Mass Flow Controller)는 Full Scale 1%에 해당하는 오차를 가지고 있습니다.

■ AFC770(HIGH Mass Flow Controller)는 Warm-up 시간이 거이 필요하지 않는 제품으로 설계되어 있습니다.

■ AFC770(HIGH Mass Flow Controller)는 기본적으로 9Pin D-sub Connector를 사용합니다.

■ AFC770(HIGH Mass Flow Controller)는 GMC1200과 같은 MFC Power Supply & Display Unit와  함께 사용할 수 있습니다. 




Dimensions




Fitting

"A" (mm)

1/4" LOK

136

3/8" LOK

136

1/2" LOK

136

1/4" VCR

149.4

1/4" VCR

149.4




PIN ASSIGNMENT (D-SUB 9Pin Male)

PIN

DESCRIPTION

PIN

DESCRIPTION

1.

-

6.

Set Point Input

2.

Flow Signal Output

7.

Signal Ground

3.

+15 VDC

8.

RS485_TX(+)

4.

Power Ground

9.

RS485_RX(-)

5.

-15 VDC

-





Specifications

Full S cale Ranges (N2 equivalent)

51 SLM~ 500 SLM

Maximum lnlet P ressure

150 psig

Normal Operating Pressure Differential

(with atmospheric pressure at the. MFCoutlet)

45 to 75 psid

Control Range

2% to 100% of F.S

Accuracy (analog)

(including non-linearity, hysteresis,

and non-repeata bility referenced to 760mmhg and 0°c)

±1.0% of F.S

Repeatability

±0.2% of F.S

Resolution

1.0% of F.S

Temperature Coefficients

Zero

Span

<0.05 % of F.S./°C

<0.05 % of F.S.

Warm-up Time (to within 0.2% of F.S. of steady state performance)

< 2 min

Controller Settling Time

< 2 sec

Pressure Coefficient

<0.02 % of Rdg./psi

Normal Operating Temperature Range

0°C to 50°C

Input Voltage Required

Max. current at start-up (first 2 sec)

Typical current at seady state

±15 VDC(±5%) @ 200 mA

+13~30VDC(±5%) @ 300 mA (Option)

Set Point Command Signal

0 to 5 VDC (Option 4~20 mA)

Output Signal

0 to 5 VDC (Option 4~20 mA)

Connector Types Analog

9-pin "D" Type

REMOTE MODE

RS485 , RS232

Wetted Materials

Stan dard Optional

(seals and valve seat)

316L S.S. , Vition , Kalrez

Leak Integrity External (scc/sec He)

Through closed valve

<1 x 10(-9)

<1.0% of F.S. at 40 psig inlet to atmosphere(Toassure no flow-through, a separate positives shut-off valve is recommended.)


Fittings (compatible with)

Swagelok 2 VCR,

1/2" Swagelok


(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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