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[EG301] EG301 (Enhanced Convection Gauge)
모델명
EG301
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129712
제품명
[EG301] EG301 (Enhanced Convection Gauge)
모델명
EG301
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

EG301 Enhanced Convection Gague

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber 내에 압력을 읽어내는 게이지 이며, +24 VDC(15 VDC 가능)의 파워를 필요로 하고

3~10 VDC 시그널의 출력을 가지는 EG301 Enhanced Convection Gauge 는 반도체 공정 및 진공 장비에 사용 됩니다. 




Features & Benefits

■ 넓은 범위의 압력층정 가능(2.0 X 10-4 to 760 Torr).

■ 높은 정확도 및 설치 공간의 효율성 증대.

■ Analog Output 제공하여 PLC 및 기타 장치에 직접 연결하여 Display 가능.

■ 7-segment LED 채택으로 인해 멀리서도 판독 가능.

■ RS-485 를 이용하여 PC 제어 가능.

■ 외부기기 및 공정에 사용할 수 있도록 2개의 Set-Point 제공.

■ 저비용(Sensor Wire 교체) 로 수리 가능.

■ Controller 가 필요 없이 단독으로 사용 가능.




Dimensions





Specifications

Physical

Input Power

+24 VDC (15 VDC 가능)

Output Power

+3 VDC to 10 VDC

Operating Temperature 

0 ~ 50°c

Pressure Range

2.0 X 10-4 ~ 760 Torr

Display Window

7-segment LED

Display Unit

Torr

Mounting Position

Horizontal

Filament

Platinum 99.999 %

Flanges

NW16 ISO-KF , NW25 ISO-KF, 1/4 VCR Female, CF Flange

Interface

Analog Output, RS-485 , 2 Set-Point

(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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