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Throttle Valve
모델명
ATV1000
시리즈
Throttle Valve
자료
-
구매정보
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129719
제품명
Throttle Valve
모델명
ATV1000
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

ATV1000 Throttle Valve

ATV1000 (Throttle Valve)는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다.

또한 넓은 범위의 압력을 조절할수 있도록 제작 되었다.

ATV1000 (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.


 


Features & Benefits

■ ATV1000 (Throttle Valve)는 High Speed Motor를 장착하여 Set-Point의 도달하는 시간을 현저히 줄여 귀사의 장비의 Throughput을 향상시키도록 디자인 되어 있다.

■ ATV1000 (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.

■ ATV1000 (Throttle Valve)는 Flapper의 Position을 User가 외부에서도 확인이 가능하도록 Case에 표시 하여, Valve의 동작여부를 장비에서 탈 착하지 않아도 확인 가능하게 설계되어 있다.

■ ATV1000 (Throttle Valve)의 Flang Style은 일반적으로 ISO-NW를 사용하지만 고객의 요구에 따라 CF, ASA, JIS 로도 가능하게 설계되어 있다.




Specifications

Speed (open to close)

1.5sec 

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0 - 150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)

Optional :316 S.S., Viton (Note 2) 

Compatible Controller

Model GPC3000

MKS Type 651, 1651 

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

800 in-oz 


Closed Leakage

(valves with a flapper o-ring) 

<10-7(Torr l/s)> 

Flange Styles:

ISO-NW

ASA

CF

JIS

KF

Notes:

1. Consists with shaft seal and flapper seal o-ring material.

2. Where Vition is used, other materials are available.

Contact Applications Engineering.



(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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