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Smart Exhaust Pressure Controller
모델명
ATV3000
시리즈
Throttle Valve
자료
-
구매정보
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129717
제품명
Smart Exhaust Pressure Controller
모델명
ATV3000
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

ATV3000 Smart Exhaust Pressure Controller

ATV3000 Exhaust Pressure Controller 는 진공 Chamber 의 압력을 조절하는데 사용된다. 

또한 넓은 범위의 압력을 조절할 수 있도록 제작 되었다. 

Controller 와 Valve 가 일체형으로 제작되어 추가적으로 Controller 를 사용하지 않아 원가 절감에 효과를 가질 수 있다. 


 


Features & Benefits

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver 를 사용하여 Valve 의 Resolution 을 향샹 시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다. 

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 High Torque Motor를 사용하기 때문에 Vacuum Line(예:12 inch) 이 Large Size Chamber 에서도 사용이 가능하다. 

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve Body 는 150˚C 까지 Heating 을 하여도 사용이 가능하다. (Sealing Type 은 제외)

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 Flapper 의 Position 을 User 가 외부에서도 확인이 가능하도록 FND로 표시하여, Valve 의 동작여부를  장비에서 탈,착 하지 않아도 확인 가능하게 설계되어 있다. 

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 고객이 원하는 대로 주문시 Flange Style 을 설정할 수 있다.  (Flange Style : ISO-NW, ASA, CF, JIS , KF)

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 외부에서 DC Power (+24VDC) 를 공급받아야 사용이 가능하다. 




Specifications

Speed (open to close)

1.5sec 

Resolution

1/12000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0 - 150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)

Optional :316 S.S., Viton (Note 2) 

Visual Position Indicator

FND

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

800 in-oz 





Specifications

Speed (open to close)

1.5sec 

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0 - 150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)

Optional :316 S.S., Viton (Note 2) 

Compatible Controller

Model GPC3000

MKS Type 651, 1651 

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

800 in-oz 


(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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