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Throttle Valve Blind
모델명
ATV1000-B
시리즈
Throttle Valve
자료
-
구매정보
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

연락처
031-526-0526
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제조사
(주)아토벡[바로가기]
브랜드
-
SKU
129720
제품명
Throttle Valve Blind
모델명
ATV1000-B
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

ATV1000-B Throttle Valve Blind

ATV1000-B(Blind) Type은 Valve안에 설치되어 Conductance를 조절하는 Plate를 창문에 치는 Blind 형태와 같이 만들어 Plate가 90도 Open 되더라도 다른 Valve 와 다르게 Throttle Valve 상, 하에 설치된 제품과 간섭이 되지 않아 Plate가 동작 할수 있는 공간을 위한 Adapter를 상, 하로 설치할 필요가 없어 전체적으로 진공장비의 부피와 가격을 절감하였고 또한 대형 Size Valve 도 공급할 수 있게 개발 하였다.





Specifications

Speed (open to close)

1.5sec

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body

Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0-150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure Across Valve

1 atm. (15 psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x 10-8 sec He

Materials Exposed to Process

Standard : 304 3.3 Viton (Note 2)

Optional : 316 S.S Vition (Note 2) 

Compatible Controller

Model GPC3000 

MKS TYPE 651, 1651

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

 

 


(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
당사는 설립 당시부터 반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하는 회사입니다. 반도체 시장에서의 거의 대부분의 제품은 외국산입니다. 우리 회사의 제품은 외국산에 비해 가격이 저렴하고, ㈜아토벡은 성능이 좋은 제품의 개발에 주력하고 있습니다. 우리 회사에서 개발하는 제품은 MFC와 MFC Contorller, Convection Gauge 및 Controller, lon Gauge 및 Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller등 진공 장비의 주요 Component들 및 센서들을 개발합니다. 새로운 아이디어가 샘솟고 항상 활기에 찬 기업 문화를 창출하는 기업 ㈜ ATOVAC을 향해 지속적인 관심과 애정어린 마음으로 지지를 보내주시기 바랍니다.
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