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Atomic-Shell
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(주)씨엔원

반도체 및 하이테크장비 제조업체, ALD, Coating Solution

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SKU
52982
제품명
Atomic-Shell
모델명
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제품 상세 정보

Rotating reactor ALD for shell coating on core structure

ㆍNano size powder coating system

ㆍReactor volume : > 100cc

ㆍFilter size : Variable(from 0.5µm~)

ㆍHorizontal rotation system

ㆍPrecursor canister : 4EA

ㆍProcess temperature : R.T. ~ 350°C (Reactor body : 230°C)

ㆍReactor rotation : DC Motor

ㆍRotation speed : 10 ~ 120rpm

ㆍBase pressure : under 20mTorr

ㆍApplication : Coating on particle, wire, tube, etc.

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