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Atomic-Basic
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(주)씨엔원

반도체 및 하이테크장비 제조업체, ALD, Coating Solution

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제조사
(주)씨엔원[바로가기]
브랜드
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SKU
52983
제품명
Atomic-Basic
모델명
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사이즈
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중량
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제품 상세 정보

Compact reactor Thermal ALD

ㆍCompact ALD Model

ㆍThermal ALD

ㆍWafer Size : ≤ 6″ Wafer

ㆍProcess temperature : up to 250°C

ㆍApplications : Oxide Film(Al2O3), etc

ㆍVery small Volume for process

CN1 Atomic-Basic

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