CSM 시리즈는 반도체 chip scale wafer level marker로 웨이퍼 후면에 칩 손상 없이 마킹 하는 장비입니다.
자동 calibration을 통해 scanner accuracy를 자동 보정하고 자동 마킹 검사 기능을 통해 마킹 결과를 확인할 수 있습니다.
WTM 시리즈는 wafer에 reference die · bad die · wafer ID를 마킹하는 장비입니다.
고속 가공이 가능하며 사용자의 편의에 따른 프로그램 변경이 용이한 wafer top side 마킹 솔루션을 제공합니다.
WM 시리즈는 class 1 수준의 cleanroom에서만 사용 가능한 wafer ID marking system입니다.
고도의 안정성을 보장하며 고속 가공이 가능합니다.