CARBOZEN-LAB 시리즈는 프로토타입 생산, 연구소에 최적화된 소형 사이즈로 합리적인 가격에 Hard&Tribological, DLC, 메탈코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능한 Multi Coater입니다.
시스템 사양
챔버 크기 | Ø500×H250mm |
증착률 | 300mm per hour |
캐소드 사이즈 | Ø300 mm |
플라즈마 소스 | Linear ion source, UBM sputter, Cathodic arc |
주요특징
• 개발예산에 맞춰 다양한 옵션 선택 가능 (선택옵션에 따라 가격 조절이 가능)
• 20년 동안 축적해온 양산 코팅 기술로 최적화된 솔루션 제공
• 코팅공정의 설계, 수정이 용이한 전자동 소프트웨어
스펙표
●=Standard / ●=Option
Components | Full Option | PECVD | Sputtering | Metal-ARC | Specifications |
Rotary pump | ● | ● | ● | ● | 4~60 m3/h |
Turbo pump | ● | ● | ● | ● | 200~400 l/s |
Throttl Valve | ● | ● | Blade type | ||
Baratron Gauge | ● | ● | 0.1~1torr | ||
Pressure Controller | ● | ● | Automatic Control | ||
Heater | ● | ● | ● | ● | 400~500℃ |
1 Fold Turntable | ● | ● | 3 Axis Rotation | ||
2 Fold Turntable | ● | ● | ● | ● | 3 Axis Rotation & Revolution |
Sputter DC Power Supply | ● | ● | 2KW DC | ||
Ion Source DC Power Supply | ● | ● | ● | 10KW DC | |
Cathodic Arc Power Supply | ● | ● | 5KW DC | ||
Bias Power Supply | ● | ● | ● | ● | 5KW 350khz |
Cathode Power Supply | ● | ● | AC or RF | ||
4 Inch Sputter Source | ● | ● | Unbalanced Magnetron Sputter | ||
4 Inch Ion Source | ● | ● | ● | ● | Closed drift Type |
3 Inch Cathodic Arc Source | ● | ● | Direct cooling Type |