Specification
축 |
X(Scan) |
Y(Step) |
작업영역 |
700mm |
800mm |
가이드 |
Ceramic air bearing |
Air bearing |
부하질량 |
100kg |
- |
가속도 |
2m/sec² |
|
위치정밀도(보정후) |
±0.3㎛ |
±1.1㎛ |
반복정밀도 |
±0.2㎛ |
±0.2㎛ |
진직도 |
1.8㎛ |
2.4㎛ |
응용분야 |
Photo mask 검사 장비 |