Specification
축 |
X₁, X₂ |
Y |
작업영역 |
2,100mm |
400mm |
가이드 |
Air bearing |
LM bearing |
부하질량 |
250kg |
40kg |
속도 |
800mm/sec |
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가속도 |
2m/sec² |
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위치정밀도(보정후) |
4㎛ |
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반복정밀도 |
±1㎛ |
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옵션사양 |
Theta axis |
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응용분야 |
LCD 패턴 검사 장비 외 |