Dual Channel로 구성되며, 각 Channel 별 공정 온도는 -20℃ ~ +80℃ 폭넓은 공정 온도까지 대응 가능함.
일정 온도 영역대 Heater 제어 없이 실시간 냉매 Cascade PID 유량제어로 저전력 Energy Saving Chiller 구현
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 | |
Channel | CH1 | CH2 |
Temp Range | -20 ~ 80℃ | 10 ~ 80℃ |
Cooling Type | Refrigerant | Refrigerant |
Cooling Capa | 6.0kW at 20℃ | 6.0kW at 20℃ |
Reservoir Volume | 18.0 Liters | 18.0 Liters |
Dual Channel로 구성되며, 각 Channel 별 공정 온도는 -20℃ ~ +80℃ 폭넓은 공정 온도까지 대응 가능함.
특정 설비의 공정 제어 Heat/Cool 동시제어 및 유량 제어 System 대응
Heater 제어방식 변경 및 실시간 냉매 Cascade PID 유량제어로 저전력 Energy Saving Chiller 구현
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 | |
Channel | CH1 | CH2 |
Temp Range | -20 ~ 80℃ | 30 ~ 80℃ |
Cooling Type | Refrigerant | Heat Exchanger |
Cooling Capa | 12.0kW at 20℃ | 6.0kW at 50℃ |
Reservoir Volume | 30.0 Liters | 30.0 Liters |
Dual Channel로 구성되며, 각 Channel 별 공정 온도는 -20℃ ~ +80℃ 폭넓은 공정 온도까지 대응 가능함.
대 용량의 Cooling Capa 성능과 Heater 제어 방식 변경 및 실시간 냉매 Cascade PID 유량제어로 저전력 Energy Saving Chiller 구현
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 | |
Channel | CH1 | CH2 |
Temp Range | -20 ~ 80℃ | -10 ~ 80℃ |
Cooling Type | Refrigerant | Combi |
Cooling Capa | 9.0kW at 20℃ | 9.0kW at 20℃ |
Reservoir Volume | 15.0 Liters | 15.0 Liters |
Triple Channel로 구성되며, 각 Channel 별 공정 온도는 -10℃ ~ +80℃ 폭넓은 공정 온도까지 대응 가능함.
특정 설비의 공정 제어 Heat/Cool 동시 제어 및 유량 제어 System 대응
대용량 Cooling Capa 성능 및 Reservoir Volume 최적화 설계로 Coolant 소모량 절감
저전력 Energy Saving Chiller
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 | ||
Channel | CH1 | CH2 | CH3 |
Temp Range | 10 ~ 60℃ | 40 ~ 80℃ | 10 ~ 60℃ |
Cooling Type | Refrigerant | Heat Exchanger | Refrigerant |
Cooling Capa | 10.0kW at 10℃ | 7.0kW at 40℃ | 12.0kW at 20℃ |
Reservoir Volume | 30.0 Liters | 30.0 Liters | 12.0 Liters |
Singel Channel로 구성되며, 공정 온도는 -10℃ ~ +80℃ 폭넓은 공정 온도까지 대응 가능함.
대용량 Cooling Capa 성능과 Heater 제어 방식 변경 및 실시간 냉매 Cascade PID 유량제어로 저전력 Energy Saving Chiller 구현
반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분 | 사양 |
Channel | CH1 |
Temp Range | -10℃ ~ 80℃ |
Cooling Type | Refrigerant |
Cooling Capa | 5.0kW at 20℃ |
Reservoir Volume | 13.5 Liters |
