반도체 Photo 공정 Track 설비의 초정밀 온도, 습도 제어 System
저전력 Energy Saving System
최적화 설계 제작 (안정성 및 운영 편의성)
구분 |
사양 |
TEMPERATURE CONTROL RANGE |
THC : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃) |
HUMIDITY CONTROL RANGE |
THC : 40 ~ 45% (±0.25%) |
FLOW RATE |
88.5 ℓ/min |
WIND SPEED |
61㎥/min |