개발동기
소규모의 PCB 업체를 위한 반자동 노광기로 Align 기능이 포함 되어 있는 반자동 평행광 노광기입니다.
주요 사용처 : PCB 및 FPCB 제조공정
제품특징
① 본 장비는 Fine Pattern 노광용 노광기로서, Lead Frame, EMI Filter, CSP등의 제조에 널리 사용되고 있는 Model 이다. Standard Panel Size는 510 x 610이며 Mechanical System Control은 PC Control로 이뤄지며, 제품 처리 조건은 Touch Screen& M/C간의 Conversation 방식으로 제품이 처리되도록 되어 있다.
② Half-Collimations Angle이 1.5 degree 임.
③ 누광 (漏光) 최소화, 구동 시 저소음. 유지• 관리 및 Trouble Shoot가 용이하며 조도 안정성이 향상된 Model 이다.
④ Alignment 기준 : 10 ± 3㎛. Substrate Glass 대각 Square 2 Point Edge 기준.
• 2 CCD Camera FOV = (6.4mmX4.8mm), M/Film Align 기준 (Left, Center, Right) (Option : 4CCD)
• Alignment Mark 고정 : (Ø0.5~1.5)/2 Point 이동 Mark: (Ø1~3) Hole
• Mask Setting 용 기준 핀대 (Alignment 가능범위 : 마크 허용 오차 ± 0.3mm)
⑤ 구동방식 : 상하방향 2점, 좌우방향 1점 모터 구동, 역 구동은 렌즈 쪽으로 구동. X.Y.Z의 정합은 Stepper Motor 사용, 상판 Mask 고정 (Fixed Reference) Stage 구동 분해능: 2㎛ 이하, 이동량 ±5mm
⑥ Mask Film Setting 방식: 필름을 Pre- Alignment Mark 위치를 영상처리 하여 수작업 Setting.
• Mask 허용 오차 : ± 0.3mm, Mask Setup Time : 5분
제품의 주요사양