개발동기
Roll to Roll 2연식 노광기로, EMI Mesh Filter의 수요가 기하급수적으로 늘어나서 적은 비용으로 빠른 생산성을 갖춘 노광기의 필요성으로 개발 공급된 노광기입니다. 기존 노광기 3대의 생산성으로 2대 가격에 개발 되었습니다. 또한 8㎛~11㎛의 회로를 형성할 수 있으며, 대면적(1300mm*800mm) 단면 평행광 노광을 빠르게 할 수 있어 생산성이 높습니다.
주요 사용처 : 전자파 차폐가 필요한 film 제조공정
제품특징
① EMI 자동 노광기는 노광 스테이지, 광학계, 냉각부의 총 3개 부분으로 구성되며 각각의 기능은 다음과 같습니다. 또한 장비의 중간에 Buffer 영역으로 Accumulator 가 있습니다.
• 노광 스테이지 : 마스크와 EMI 필름을 상하 이동 모터와 실린더를 이용하여 Contact 시킨 후 진공을 이용하여 밀착 시킨 후 자외선 (UV-365nm)을 이용노광.
• 광학계 : UV 램프에서 발생되는 빛 중에서 원하는 영역의 파장대만(365nm) 추출하여 노광 영역에 공급.
• 냉각부 : UV 램프에서 발생되는 열을 외부로 방출시키며, 또한 노광 영역의 온도를 냉각수를 이용하여 일정 온도로 유지시켜주는 영역.
제품의 주요사양