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Wafer 제조용 UV Cure System
모델명
SSCM-M3K1/PR
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(주)세명백트론

UV 노광기, UV 경화기, 라미네이터, UV 램프, UV LED 램프

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제조사
(주)세명백트론[바로가기]
브랜드
-
SKU
36874
제품명
Wafer 제조용 UV Cure System
모델명
SSCM-M3K1/PR
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

개발동기
이 경화기는 반도체 Wafer 가공 CMP 공정에서 wafer를 고정하고 풀기 위한 공정에서 사용하도록 설계되었습니다. 

주요 사용처 : 반도체 웨이퍼 가공 공정용 

제품특징
① wafer size를 자유롭게 사용가능하다.
② 여러 장의 Wafer를 처리 할 수 있다.
③ Wafer의 조건에 따라 광 조사 조건을 채널별로 처리 가능하다.
④ Wafer 가공 후 접착력을 UV에 의해 쉽게 탈착 할 수 있도록 접착제 찌꺼기(칩)가 없다.
⑤ Scan Type 및 조사거리 가변 Type이 있으며 다양한 Spec을 가지는 Water들에 모두 적용 가능. (주종은 8 inch 와 10 inch wafer)
⑥ Batch Type으로서 독립된 Chamber 에서 제품을 처리하는 Semi-Auto형임.
⑦ N2 Purge System 의 채택으로 Out-gas system 및 Clean Chamber 실현.
⑧ 고효율의 UV Flux와 High Level 의 Beam Uniformity달성.
⑨ 각종 Indicator들을 통한 System 상태 Display됨. 

제품의 주요사양

(주)세명백트론 Wafer 제조용 UV Cure System SSCM-M3K1/PR 1

(주)세명백트론
UV 노광기, UV 경화기, 라미네이터, UV 램프, UV LED 램프
(주)세명백트론은 광(光) 테크놀로지의 21C를 열어가는 가능성을 더욱 넓혀가고 있습니다.첨단 기술 분야에서는 보다 정밀하고 신뢰성과 생산성이 높은 UV시스템이 요구되어지고 있습니다. 이에 당사는 UV 종합 메이커로서 장시간에 걸쳐 축적된 노하우로 새로운 광원(光原)의 개발과 고도의 응용기술을 선도하고 있습니다. 일천한 국내 UV램프 역사에도 불구하고 10여년 동안 꾸준히 연구 개발하여 전량 외국 수입에 의존해오던 첨단 산업용 기자재인 노광용 램프 (SMX-7000, SMX-8000), 수은 UV Lamp, Metal UV Lamp등, 응용 분야인 노광기, 라미네이터, UV 건조기, UV 경화기 등을 순수 자체 기술력으로 개발하여 국내 대기업 및 중.소기업 M/S의 60% 정도 공급하고 일본, 독일, 미국 등 여러나라에 수출하고 있습니다. 초고압 수은/제논 점광원 UV Lamp도 80%이상 개발 진행중에 있습니다. 원가절감은 물론 제품의 적기 공급과 신속한 기술지원 (A/S)으로 국내 고객들로부터 호평을 받고 있으며, 또한 공급선의 다변화로 외국(일본, 독일, 미국)산 장비 대체효과를 가져왔으며 우호적인 해외거래선과도 관계를 개선시키는 결과도 가져 왔습니다.
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