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Inline Sputter
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Sputtering System
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(주)셀코스

반도체, 전자부품 생산, 태양전지, 유기EL, 디스플레이

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제조사
(주)셀코스[바로가기]
브랜드
-
SKU
40985
제품명
Inline Sputter
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

▷ 완전 자동화 시스템 구축, 안정된 품질 확보를 위한 다양한 기술 제공
▷ 높은 가동률, 생산성 극대화, 다양한 확장성

 

Application

- 다양한 박막(Metal, Oxide, TCO)공정에 적용
- 다양한 제품(Plastic, Glass 등)에 적용
- 다양한 형상(Deco, Tool, Special model)에 적용

 

Specification

구성 Loading, Pre-treatment, Deposition, Buffer, Unloading
Tact time 3 Min 이내
Cathode Planar or Cylindrical Magnetron cathode
Target Metal, Oxide, TCO

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