▷ OLED Panel 연구개발용으로 적합한 시스템
▷ 효율적인 투자비용으로 유/무기 증착 및 봉지공정까지 일괄적으로 수행
Application
- 연구/개발 Application
- Small size OLED device 연구/개발용
- OLED 재료 개발용
Specification
구성 | Organic/Meal deposition, Encapsulation unit |
특징 | Substrate handling -> Automation, Substrate to mask align, Sub-shutter |
Source | Point effusion Cell |
Material | Organic and metal |