다단식 Heater Furnace
Heat zone | 1000 x 1000 x 650H, 6단 ※SIZE 및 단수는 소비자의 요구에 맞게 변경 가능 |
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Max temp | 1500℃ ∼ 2900℃ |
진공도 | 10(-2) torr대 ※Diffusion Pump 부착시 10(-5) torr대 |
사용 Gas | H2, N2, Ar, HCl, Cl2 |
Utility | Power 180KVA, 냉각수, 공정gas, Air |
Optional items |
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특징 |
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