Overview
다수의 Be Lens를 한 개의 모듈로 제작하여 개별 모듈단위로 빔라인 광축 상에 추가하거나 제거하는 방법으로 빔의 집속 크기를 조절한다.
Be Lens의 모듈은 원격으로 이루어 진다.
Specifications
PART | Parameter | Specification |
Pitch | Range(mrad) | ±50 |
Resolution(μrad) | 1 | |
Roll | Range(mrad) | ±50 |
Resolution(μrad) | 1 | |
Yaw | Range(mrad) | ±14 |
Resolution(μrad) | 2 | |
Chamber X | Range(mm) | ±25 |
Resolution(µm) | 0.1 | |
Chamber Z | Range(mm) | ±25 |
Resolution(µm) | 0.1 |