MFC Contorller, Convection Gauge & Controller, lon Gauge & Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller
GVC2200 Vacuum Gauge Controller
GVC2200 모델은 Hot Cathode Ionization Gauge, Convection Gauge 두개와 Capacitance Manometer를 동시에 연결하여 사용할수 있으며, 측정범위는 고진공(10-9)에서부터 대기압 이상(1000 Torr)까지 이다. 이것은 Convection Gauge와 Hot Cathode Ionization Gauge의 연속적인 측정범위에 해당한다. 또한 이 Controller는 연결하는 Gauge의 개수에 따라 원하는 대로 Control Card의 착 탈이 가능하도록 설계 되었다. Interface 단자를 통해서 외부 다른 기기와 연결할 수 있으며, 6~8개의 독립적인 Trip-Point Relay, 4개의 Analog Output, TTL, IG on/off 기능으로 구성되어 있다. 별도의 내부 Set-point를 이용하여 Convection Gauge의 압력 측정 범위를 벗어나 고진공으로 진입할 때 자동으로 Ion Gauge를 켤수 있도록 하였으며, Degas 기능 또한 시간제어로 사용 할수 있다.
Features & Benefits
■ 설치 공간 확보가 용이한 일체형.
■ 4 Channel까지 Gauge를 선택하여 원하는 대로 설치 가능
■ 문자 LCD보다 판독이 용이한 그래픽 LCD 채택.
■ 외부기기 및 공정에 사용토록 6~8개의 Set-Point 제공.
■ Ionization Gauge 보호 기능(1X10-3 Torr 이상에서 자동꺼짐 기능)
■ Degas 시간제어 기능
■ 상태 창을 이용한 SP, IG on/off 등 현재 상태 확인 가능
■ Gauge읭 영점 및 대기압을 버튼으로 보정.
Dimensions
Specifications
Physical | |
Width | 241 mm - Half Rack Mounting ears |
Height | 88 mm - 2 U Rack |
Depth | 250 mm (not included connector space) |
Electrical | |
Input Power | 195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA (max) |
Fuse rating | 250 VAC @3 A |
Measuring Range (for N2/Air) | Convection Gauge : 1000T ~ 8.0 x 10-4 Torr Ionization Gauge : 1.0x10-4~1.0 x 10-9 Torr |
Display | 128 x 64 dot Graphic LCD |
Ion Gauge Sensitivity | Factory setting : 10/Torr |
Emission Current | 0.1mA, 1mA, 10mA adjustable (default setting : 1 mA) |
Collector Potential | O Volts |
Grid Potential | +180 VDC |
Cathode Potential | +30 VDC |
Degas | I2 R : 10VAC 5 Amp (max) |
Eletrical | |
Set Point Relay Contact | 6 Independently Set, SPDT Conteact (0.5 Amp @125 VAC) |
Set Point Range | Convection : 1000~1.0 x 10-3 Torr Ionizatioin Gauge : 1.0 x 1.0-3 ~ 1.0 x 10-9 Torr |
Pressure Voltage Output | 0 ~ 10 VDC for 2 CG'S and 1 IG 0 ~ 10 VDC for Capacitance Manometer. |
Serial Interface | RS232C |
